- วิเคราะห์หาธาตุในตัวอย่างทั้งเชิงคุณภาพ และเชิงปริมาณ และวิเคราะห์การกระจายตัวของธาตุบนพิ้นผิว - ทั้งทางกายภาพและชีวภาพ แต่ต้องไม่มีน้ำมันเป็นส่วนประกอบ และไม่มีความเป็นแม่เหล็ก - ชนิดชิ้นงานขนาดไม่เกิน 1x1x1 เซนติเมตร ชนิดผง น้ำหนักไม่น้อยกว่า 0.5 กรัม​