เครื่องวิเคราะห์การกระจายพลังงานของรังสีเอ็กซ์
Energy-dispersive X-ray spectrometer (EDS)
วิเคราะห์องค์ประกอบทางเคมีด้วยสเปก โทรเมตรีรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงานที่ใช้ร่วมกับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ซึ่งมีบทบาทส าคัญในปัจจุบันในการวิเคราะห์ธาตุทั้งทางด้านวัสดุศาสตร์ ด้านชีวภาพ กายภาพ และ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ที่มีชิ้นส่วนขนาดเล็ก
ขอบเขต/ข้อจำกัดการใช้งาน
- ตัวอย่างต้องแห้ง ไม่มีน้ำมันเป็นส่วนประกอบ - ตัวอย่างไม่มีความเป็นแม่เหล็ก - ตัวอย่างแบบชิ้นงาน ผิวเรียบ ขนาดไม่เกิน 1x1x1 เซนติเมตร