เครื่องวิเคราะห์การกระจายพลังงานของรังสีเอ็กซ์
Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS)
รหัสเครื่องมือ
- FESEM-EIDTS-01
ยี่ห้อ/รุ่นเครื่องมือ
- ยี่ห้อ Oxford รุ่น Ultim Max
รายละเอียดเครื่องมือ
- วิเคราะห์องค์ประกอบทางเคมีด้วยสเปก โทรเมตรีรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงานที่ใช้ร่วมกับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ซึ่งมีบทบาทส าคัญในปัจจุบันในการวิเคราะห์ธาตุทั้งทางด้านวัสดุศาสตร์ ด้านชีวภาพ กายภาพ และ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ที่มีชิ้นส่วนขนาดเล็ก
ข้อจำกัดตัวอย่างที่ใช้กับเครื่องมือ
- – ตัวอย่างต้องแห้ง ไม่มีน้ำมันเป็นส่วนประกอบ
- – ตัวอย่างไม่มีความเป็นแม่เหล็ก
- – ตัวอย่างแบบชิ้นงาน ผิวเรียบ ขนาดไม่เกิน 1x1x1 เซนติเมตร
สถานที่ตั้งเครื่อง
- ศูนย์พัฒนานวัตกรรมและบริการทางวิศวกรรม (EIDTs)
- FESEM KMITL
- ชั้น 1 ตึก HM คณะวิศวกรรมศาสตร์ สจล.
- ภาควิชาคณะวิศวกรรมศาสตร์
- คณะวิศวกรรมศาสตร์ สจล.
สถานะเครื่องมือ
พร้อมใช้งาน
ผู้รับผิดชอบเครื่องมือ
- ชื่อ – นามสกุล
- ชมพูนุช ดวงดีวงศ์
พิมพลอย ประเสริฐวสุ - คณะวิศวกรรมศาสตร์
- ภาควิชาคณะวิศวกรรมศาสตร์
- ศูนย์พัฒนานวัตกรรมและบริการทางวิศวกรรม (EIDTs)
