เครื่องวิเคราะห์การกระจายพลังงานของรังสีเอ็กซ์
Energy-dispersive X-ray spectrometer (EDS)
รหัสเครื่องมือ
FESEM-EIDTS-01-02
ยี่ห้อ/รุ่นเครื่องมือ
Oxford Ultim Max
รายละเอียดเครื่องมือ
วิเคราะห์องค์ประกอบทางเคมีด้วยสเปก โทรเมตรีรังสีเอกซ์แบบกระจายพลังงานที่ใช้ร่วมกับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ซึ่งมีบทบาทส าคัญในปัจจุบันในการวิเคราะห์ธาตุทั้งทางด้านวัสดุศาสตร์ ด้านชีวภาพ กายภาพ และ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ที่มีชิ้นส่วนขนาดเล็ก
ข้อจำกัดตัวอย่างที่ใช้กับเครื่องมือ
- ตัวอย่างต้องแห้ง ไม่มีน้ำมันเป็นส่วนประกอบ - ตัวอย่างไม่มีความเป็นแม่เหล็ก - ตัวอย่างแบบชิ้นงาน ผิวเรียบ ขนาดไม่เกิน 1x1x1 เซนติเมตร
สถานที่ตั้งเครื่อง
ศูนย์พัฒนานวัตกรรมและบริการทางวิศวกรรม (EIDTs)
FESEM KMITL
ชั้น 1 ตึก HM คณะวิศวกรรมศาสตร์ สจล.
คณะวิศวกรรมศาสตร์ สจล.
รายละเอียดเครื่องมือ
Ready
ผู้รับผิดชอบเครื่องมือ
ชมพูนุช ดวงดีวงศ์
พิมพลอย ประเสริฐวสุ